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深企積極佈局磷化銦產業 自主開發磷化銦單晶片整套生產工藝和生產裝置

讀創/深圳商報首席記者 王海榮

8月3日,記者從華訊方舟集團獲悉,該集團已成功自主開發出VB-VGF生長法生產磷化銦單晶片(EPD≤1400 cm2)的整套工藝和生產裝置,擁有完整且國產的生產工藝與產業供應鏈。該項研究成果有助於扭轉全球磷化銦市場長期被國外企業壟斷的格局。

作為國家十三五、十四五明確規劃產業,磷化銦是新一代電子功能材料和晶片基礎材料,更是高頻晶片不可替代的材料,因其技術含量高、生產難度大,全球市場一直被美國、日本等國壟斷。

近年來得益於國家政策加持,我國的磷化銦生產技術獲得長足發展。作為一家專注於包括Ku/Ka/THz在內的高頻譜技術研發與應用的高新技術企業,華訊方舟集團長期以來專注於底層技術的研究,經過十餘年的研發沉澱,其磷化銦研發團隊於近期取得突破。據介紹,華訊方舟集團正積極佈局磷化銦產業,打造領先的磷化銦半導體材料基地。

公開資料顯示,磷化銦(InP)是磷和銦的化合物,磷化銦作為半導體材料具有優良特性。使用磷化銦襯底製造的半導體器件,具備飽和電子漂移速度高、發光波長適宜光纖低損通訊、抗輻射能力強、導熱性好、光電轉換效率高、禁頻寬度較高等特性,被廣泛應用於生產射頻器件、光模組、LED(Mini LED及Micro LED)、鐳射器、探測器、感測器、太空太陽能電池等器件,在5G通訊、資料中心、新一代顯示、人工智慧、無人駕駛、可穿戴裝置、航天、衛星等領域具有廣闊的應用空間。

受益於下游市場需求的增加,磷化銦襯底材料市場規模持續擴大。目前,我國磷化銦應用市場主要集中在太赫茲(THz)、鐳射器、太陽能電池、光電探測器和光纖網路系統等領域,包括入戶光纖和資料中心傳輸,以及正在大力發展的5G行動網路等。此次華訊方舟集團在磷化銦領域取得的自主創新成果也有望加速市場應用程序。

審讀:譚錄崗