科技全球光刻王者的量測之路:從芯到芯,他們是怎麼做到的呢?2021-06-03前道量裝置ASML晶片檢測光學量測、電子束量測對比(圖源:華創證券)二、國外廠商佔據主導,日本廠商斬獲臺積電/三星訂單據SEMI及國金證券的測算,全球半導體檢測類裝置市場規模超800億元,其中前道量測裝置市場規模約為406億元...