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國產半導體裝置領域傳來捷報。

7月13日，上海精測半導體官宣，國內首臺12寸獨立式光學線寬測量裝置（OCD）與國內唯一12寸全自動電子束晶圓缺陷複查裝置（Review SEM）順利出機。

圖片來源：上海精測半導體官微

同日，上海精測半導體母公司精測電子在其披露的投資者調研紀要中確認，上述兩款產品交付的客戶為國內一流先進製程晶圓廠中芯國際。

精測電子在上述調研紀要表示，半導體研發投入巨大，驗證週期長，預計2021年部分半導體產品線實現扭虧，但整體半導體業務實現盈利仍需要更多時間和努力。

二級市場方面，與近期A股其他半導體裝置公司的強勢表現相比，精測電子相對疲弱。如5月11日以來，北方華創和長川科技股價已經翻倍，而精測電子上漲33%。

核心零部件均為自主研發

上海精測半導體介紹，OCD裝置（產品型號為EPROFILE 300FD）主要用於45nm以下、特別是28nm平面CMOS工藝的量測，並可以延伸支援上述先進工藝節點的快速線寬測量。

圖片來源：上海精測半導體官微

EPROFILE 300FD測量系統擁有完全自主智慧財產權，包括寬譜全穆勒橢偏測頭、對焦對位系統、系統軟體等核心零部件均為自主研發，是真正意義上的高階國產機臺。

配套EPROFILE 300FD，上海精測半導體還同時釋出了新一代電磁場模擬建模工具J_ProfilerTM V3。0。該款軟體允許使用者在數百核的高速建模運算伺服器上進行OCD建模與庫匹配，可以在獲取複雜三維奈米結構光譜變化資訊後，實時高速的對於奈米結構的各個維度精確值進行計算。

Review SEM是先進的全自動晶圓線上電子束缺陷複查和分類裝置，其中配備了基於深度學習的高準確率智慧化自動缺陷檢測與分類演算法。公司從底層開發做起，掃描電子顯微鏡、配套掃描成像電路等關鍵核心部件均為自主設計，並用了近兩年的時間打通了電子顯微鏡核心零部件加工的國產供應鏈。

圖片來源：上海精測半導體官微

股東實力雄厚

上海精測半導體成立於2018年7月，主要聚焦半導體前道檢測裝置領域，現已形成了膜厚/OCD量測裝置、電子束量測裝置、泛半導體裝置三大產品系列。

上述調研紀要顯示，上海精測半導體膜厚產品（含獨立式膜厚裝置）已取得國內一線客戶的批次重複訂單、OCD量測裝置已取得訂單並已實現交付，半導體電子束檢測裝置eView™全自動晶圓缺陷複查裝置已正式交付國內客戶。其餘儲備的產品目前正處於研發、認證以及拓展的過程中。

上海精測半導體是精測電子半導體檢測業務的重要實施載體之一。精測電子預計2021年部分半導體產品線實現扭虧，但整體半導體業務實現盈利仍需要更多時間和努力。

2020年，上海精測半導體實現營業收入5674萬元，虧損9688萬元。

上海精測半導體股東陣營實力雄厚。目前，精測電子持有40%的股權，其間接控制50%股權的上海精圓管理諮詢合夥企業持有13。33%的股權；國家大基金一期持有13。33%的股權，國家大基金一期和萬業企業各持股近20%的上海半導體裝備材料產業投資基金合夥企業持有6。67%的股權。

計劃增資7。43億元

今年5月，精測電子完成了募資近15億元的定增事項。其中，擬投入募集資金7。43億元用於上海精測半導體研發及產業化建設專案。該專案總投資額為12億元。

7。43億元將由精測電子以增資擴股的方式投入上海精測半導體。本次增資完成後，精測電子持有（含間接持股）上海精測半導體的股權比例由46。67%變更為70。79%。

上述專案擬在上海青浦區實施，在現有業務的基礎上，透過建設研發生產用房及配套設施、購置裝置、引進人才等，提升公司半導體檢測裝置、泛半導體工藝和檢測裝置研發及生產能力。

目前，中國半導體檢測及量測專用裝置行業仍然被國外龍頭企業佔據主導地位，市場集中度高，國內企業仍然處於弱勢地位。現階段，精測電子的競爭對手主要有科磊半導體、應用材料等。

編輯：於紅波