集微網訊息，2021年12月29日，《遼寧省“十四五”先進裝備製造業發展規劃》（以下簡稱：《規劃》）印發。

《規劃》指出，未來五年，遼寧將圍繞國家五大安全戰略，優先發展航空裝備、高技術船舶及海工裝備、高檔數控機床、

積體電路裝備

、能源裝備等5大戰略型先進裝備製造產業；圍繞遼寧傳統優勢，重點發展重大成套裝備、機器人及智慧裝備、先進軌道交通裝備、節能與新能源汽車等4個主導型先進裝備製造產業；圍繞新經濟新技術新業態，超前培育健康醫療裝備、氫能裝備、冰雪裝備等3個未來型先進裝備製造產業。到2025年形成重點引領、優勢突出、“兩化融合、兩業融合”的先進裝備產業體系。

優先發展戰略型先進裝備製造產業

積體電路裝備

重點發展面向網路通訊、工業控制、汽車電子、智慧終端等領域的專用積體電路整機產品、關鍵零部件，攻克關鍵共性技術。到2025年，營業收入超過800億元，省內上下游產業鏈配套率不低於25%，建成國內領先的積體電路裝備產業基地，國內重要材料生產供應基地。

重點整機產品

。重點發展12英寸原子層薄膜沉積（ALD）裝備、12英寸亞常壓化學氣相沉積裝備、具有與光刻機外聯功能的12英寸及以上勻膠顯影裝備、12英寸前道深紫外光刻工藝塗膠顯影裝備、12寸全自動銀漿高速機等一批新技術裝備研製，鼓勵光刻機、蝕刻機、離子注入機等裝置的研製。推進12英寸鐳射類劃片機、單晶外延裝置（EPI）的研發、定型和應用，推進300mm全自動裝片機、晶片倒裝機、引線鍵合機等封裝測試裝置向高階封裝及IGBT、MEMS特色封裝領域應用。

關鍵零部件

。重點發展IC裝備核心製程關鍵零元件加熱器、GDP、勻氣盤及大尺寸腔體等產品，擴大現有產品腔體類、基板類、盤孔類零部件的市場規模，實現組裝件的批次應用。實現羅茨幹泵、渦旋幹泵、離子泵、螺桿幹泵及真空閥門大規模產業化，建成國際先進水平的真空獲得系統研發、設計、測試驗證、技術服務和產業化基地。

關鍵共性技術

。重點發展應用於3D NAND快閃記憶體技術領域的PECVD裝置等整機裝置生產技術，小體積大抽速高節能渦旋真空泵技術，扇出型封裝成套裝置工藝技術，勻氣盤、反應腔、羅茨幹泵、閥門等關鍵零部件及零部件表面處理全工藝生產技術。

重點發展機器人及智慧裝備等

重點發展工業機器人、移動機器人、潔淨機器人、服務機器人、特種機器人等全系列產品及核心零部件，形成研發協同創新機制完善、企業梯度發展、產業鏈條完整的國內領先的機器人產業基地。

機器人及智慧裝備產品

。重點發展弧焊機器人、點焊機器人、真空（潔淨）機器人、核環境機器人、全自主程式設計智慧工業機器人、人機協作機器人、雙臂機器人、複合機器人（移動機械臂）、裝配型AGV、過載AGV等標誌性工業機器人產品，以及救援機器人、水下機器人、手術機器人、智慧型公共服務機器人、康復機器人等特種機器人，大型/精密/高效增材製造裝備等智慧裝備。

機器人及智慧裝備核心零部件

。重點發展高速高效能匯流排式控制器、高效能機器人專用伺服電機和驅動器、高精密差動行星減速器等機器人核心部件。

機器人及智慧裝備關鍵共性技術

。重點發展感測器技術、視覺技術、遠端監控與故障診斷技術、人工智慧技術等核心技術，突破工業機器人與專用機器人在智慧行為控制、安全協作控制上的重大共性關鍵技術，開展具有自主智慧財產權機器人產品的研發。加快3D列印裝置產品開發及應用，重點突破三維測量、快速成型製造、快速模具、快速鑄造、工業機器人鐳射增材製造技術等核心技術的開發與研製。

此外，《規劃》將健全人才資源體系，加快高階人才集聚，創新人才引進、培養、使用、評價、激勵政策，建立裝備製造業人才庫，加快培養和引進裝備製造業的中高階技工隊伍、研發專家和團隊、高階經營管理人才，為產業發展提供智力支援和人才保障。（校對/Winfred）