據相關資料顯示，過去20年來，全臺發生4次大規模停電，2次就發生在今年5月。依據臺電統計，歷年最高用電量前10名中，至少有5名出現在今年5月，28日用電量飆破3，840萬瓩，打破歷年用電尖峰紀錄，5月最低備轉容量率一度下降到3。84%，低於6%供電警戒。

全臺灣用電過去 5 年的增加量，約三分之一由臺積電貢獻。 接下來，隨著匯入“救世主”技術──EUV光刻技術，用電量還會暴增。臺積電評估，5nm製程用電會是目前主流製程的 1。48 倍。

很多人都忘了，臺積電董事長張忠謀曾在 2 年前準確預言今日的缺電危機。

2015 年底，張忠謀便指出，目前臺灣最大的隱憂之一就是缺電，他並指出臺灣 2017 年可能面臨限電危機，這對產業影響相當大。

張忠謀並隨後在媒體提問時指出，停電對於臺積電的影響“幾乎不可估計”。他說，臺積電每個廠都有備用電源，但備用電源的用電成本比起臺電提供的電貴 3 倍，如果未來長期限電“這就很累了”。

值得注意的是，用電增幅極為驚人，從原本規劃的 152 萬千瓦，增加至 222 萬千瓦，大幅增加 46％。

根據南科管理局提供給環保署的檔案，臺積電的5nm製程，估計用電量 72 萬千瓦，幾乎與南科申請新增的用電功率相當。

這個數字究竟有多大？根據臺電資訊，東部用電量約在 40 到 50 萬千瓦之間。 也就是說，臺積電一個新廠的用電量，將比整個東臺灣 56 萬人口的用電量還多上不少。

半導體的製造，本來就是高度耗電的過程。儘管臺積電每年花費偌大人力、心力節省電力，但仍改變不了，採用各種先進科技及複雜化學品的晶圓廠、同時也是吃電大怪獸的事實。

根據能源局統計資料，同時間全臺灣工業部門的用電僅增加 6%。 而這個增加量當中超過一半是臺積電貢獻。

全臺灣用電量，過去 5 年的增加量當中也有 33。6%，差不多三分之一的增加量由臺積電貢獻。而且，在可預見的未來，這家世界級半導體天王每年用電增加的幅度，只怕還會加速擴大。因為半導體制程技術，又到了改朝換代時刻。

臺積電預計 2019 年量產的 7nm製程匯入EUV（極紫外光）光刻技術，這是半導體產業期待已久的“救世主”技術。

今年 1 月，臺積電 5 奈米案環境評估透過的同一星期，獨家生產EU光刻機臺的荷蘭廠商ASML宣佈，已接到 EUV 光刻機臺 6 部訂單。有其他媒體報道稱，分析師推測，臺積電訂走了其中 5 臺，亦即一口氣買下 5。5 億美元（約 167。8 億臺幣）的裝置。

這個價錢，幾乎可以買下兩臺世界最大民航機──空中客車 A380。除了昂貴之外，但對臺灣而言，EUV 這個“救世主”技術還有一個大缺點──耗電。

EUV有多少耗電？EUV光刻機能源轉換率非常低，轉換率僅有0。02%，按照臺積電公佈的資料來看，一臺用於製造5nm晶片的EUV光刻機的標準輸出功率約為350W，但實際輸入功率高達1750KW，350W的EUV光刻機工作一天將會消耗4。2萬度電。

有坊間傳言稱，接下來更耗電的3nm製程，臺積電有意設廠美國，除了土地與環評，電力穩定度也是考慮因素之一。

此前，臺積電聯席CEO劉德音表示，3nm的選址決定明年上半年將會正式決定，目前仍是以臺灣為優先。