芯東西（ID：aichip001）

作者 | 溫淑

編輯 | 心緣

芯東西2月9日報道，不久前的1月20日，全球光刻機龍頭ASML正式交付了一臺晶圓量測裝置YieldStar 385。相比於售價動輒過億美元的光刻機，這臺新裝置並未引起過多關注。

但實際上，在量測裝置領域，ASML已投入了十年的研發。而ASML最新推出的YieldStar 385裝置，可用於最領先的3nm製程產線。

那麼，這種得到全球光刻王者青睞的量測裝置到底是什麼？

在晶片製造全程中，晶圓廠需要在刻蝕、光刻等每一個步驟結束後，對晶圓進行檢測，以確認加工引數達到設計要求、排除晶圓表面缺陷，從而保證良率和控制成本。

這種貫穿晶片製造全程的檢測工藝，就被稱為“前道量測”，又稱“過程工藝檢測”。

據SEMI和申港證券研究所統計，前道量測裝置（工藝控制檢測裝置）的價值，佔到晶圓廠製造裝置總額的10%。

前道檢測裝置約佔晶圓廠製造裝置總額的10%（2018年資料）

今天，芯東西著眼全球市場，解讀前道量測裝置背後的技術邏輯，以及領先玩家背後的故事。

一、前道量測裝置：與光刻機聯絡緊密的關鍵裝置

翻開ASML 2020年的財務報告，可以看到在2020年，ASML向客戶交付了四套前道量測系統，分別為三套eScan1000多光束檢測系統、一套YieldStar 385系統。

全球光刻之王為何佈局前道量測裝置市場？或者說，前道量測裝置會對光刻工藝造成怎樣的影響？

在2020年7月18日ASML官方Facebook賬號釋出的一條推文中，我們可以找到答案。根據推文《ASML關鍵量測機臺的誕生》，2000年代早期，半導體制造商在使用光學系統檢測轉印在晶圓上的線路圖案時，遇到了瓶頸。

具體來說，2000年以後，晶片製程推進至0。13µm（130nm）時，要在0。13µm光刻解析度的晶片上檢測出缺陷，晶圓廠有可能需要中斷晶片製造過程。不僅如此，隨著摩爾定律向前發展、光刻精度日益提升，晶圓前道量測的任務日益加重，迫切需要更加智慧的量測機臺。

ASML官方Facebook賬號推文《ASML關鍵量測機臺的誕生》

基於此，ASML量測部門工作人員Arie den Boef在約十年前開始研發YieldStar系列量測裝置。據ASML官方資料，YieldStar裝置可實時將檢測資料回傳給光刻裝置，從而矯正晶片製造過程中的錯誤。

ASML量測部門研究人員Arie den Boef

目前，前道量測裝置主要用到光學技術和電子束技術。前者透過分析光的反射和衍射光譜，間接進行測量，是晶圓廠主要使用的檢測技術；後者根據電子掃描直接放大成像。

光學量測、電子束量測對比（圖源：華創證券）

二、國外廠商佔據主導，日本廠商斬獲臺積電/三星訂單

據SEMI及國金證券的測算，全球半導體檢測類裝置市場規模超800億元，其中前道量測裝置市場規模約為406億元。

放眼全球前道量測裝置市場，外國廠商佔據主導地位。

其中，僅行業龍頭科磊（KLA）就佔據過半市場份額，市佔率高達約53%。此外，美國應用材料、日本日立、美國耐諾、中國臺灣Hermes Microvision、以色列Nova等廠商亦排名前列。

半導體前道量測裝置市場競爭格局（圖源：SEMI、國金證券研究所）

除去上述幾家廠商，全球晶圓前道量測裝置市場中，還有一家日本廠商不得不提——Lasertec。

Lasertec的產品可用於當今最先進極紫外光刻（EUV）的前道工藝檢測。目前，Lasertec是該領域唯一一家裝置製造商。

目前，全球範圍內僅有臺積電和三星電子能夠利用EUV技術生產晶片。而這兩家企業已確認訂購了Lasertec的EUV檢測裝置。

隨著利用EUV技術生產的5nm製程晶片紛紛落地商用，Lasertec公司的業績表現水漲船高。

從2019年初以來，Lasertec公司的股價已經飆升逾900%。

Lasertec公司近五年股價變化

三、揭秘三大國產化玩家

把目光放回國內，據市場研究機構國金證券測算，目前，中芯國際、長江儲存、長鑫儲存佔據了國內前道量測裝置年需求的40～50%左右。

而在供應端，科磊等外國廠商在大陸的市佔率達到約70%。

國產玩家方面，中國企業起步較晚，目前上海睿勵、中科飛測、精測電子等對前道量測裝置有所佈局。

其中，上海睿勵成立於2005年，主要產品包括光學薄膜測量裝置、光學關鍵尺寸測量裝置等。工商平臺顯示，國家大基金持股上海睿勵約12。1%。

深圳中科飛測成立於2014年，公司由中科院微電子所和創業團隊共同創立。2020年5月份，中科飛測生產的橢偏膜厚量測儀已落地士蘭微電子12英寸特色工藝半導體晶片專案。

上海精測電子成立於2018年，在前道量測裝置和後道封測裝置上均有佈局。工商平臺顯示，國家大基金持股上海睿勵約13。3%。

據國金證券測算，目前半導體裝置國產化率在10%左右。在國內前道量測裝置市場由外國廠商佔據主導地位的情況下，上海睿勵等國產化玩家，不僅需要需要攻克技術壁壘，還需承擔起建設銷售團隊、培育市場生態等多種任務。

結語：前道量測——國產化攻堅的又一道命題

作為貫穿晶片製造全程的重要裝置之一，前道量測裝置對於提升晶片良率具備重要意義。

據估計，產品良率每降低一個百分點，晶圓代工廠商將損失100～800萬美元。

在提升晶片產業國產化被不斷強調的今天，攻堅每一個產業鏈環節成為中國晶片玩家面臨的行業使命。

目前，國內前道量測裝置市場仍舊由外國廠商佔據主導地位，期待未來中國廠商能夠透過提升產品、研發等各方面實力、佔據更多市場主動權。